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Nouvelles de l'industrie
Pulvérisation cathodique (pulvérisation) est A genre de préparation technologique du PVD minces.
Nov 16, 2016


Pulvérisation cathodique (pulvérisation) est un type de technologie de préparation de minces PVD, qui est principalement divisé en quatre types : DC bredouillement, AC pulvérisation, pulvérisation réactive et pulvérisation magnétron.

Technologie de préparation de couches minces PVD : pulvérisation


Principe que graphique :

Principe : le bombardement de la cible avec les particules chargées, accéléré le bombardement ionique de surface solide, surface collisions atomiques et le transfert de l’énergie et l’élan, alors que les atomes de la cible s’échapper de la surface et déposée sur le processus matériel de substrat. Les particules chargées (ions positifs gaz couramment utilisés) cibler bombardement surface d’un matériau, la surface des atomes cibles ou molécules échappent à ce phénomène, en même temps, en raison de la conversion du processus de pulvérisation contenant élan, ainsi les particules pulvérisés est directionnel.


Utilisation : elle peut rendre la surface du métal, alliage ou diélectrique film sur la surface du matériau de base. Adapté pour les circuits intégrés de fabrication minces, dispositif à puce plomb et dispositif semi-conducteur.

Méthode : minces pulvérisés sont habituellement produites dans le plasma de gaz inerte (comme l’argon).

Caractéristiques : le processus de pulvérisation avec les avantages de la température du substrat faible, qualité de film mince, uniforme et la structure compacte, bonne dureté et reproductibilité.


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